型號/Model

S03-506000

規格/Specification
X軸行程：500mm
Y軸行程：600mm
立柱內部間距：590mm
橫樑內部高度：305mm
驅動方式：線性馬達
精度反饋方式：光學尺
散熱方式：X軸-風扇 Y軸-高壓空氣
線軌規格：THK SSR系列
線軌潤滑方式：油脂
客供品：線性馬達、光學尺、微致器
XY重複定位：±0.02mm
解析度：1um(依光學尺回饋)
平面行走精度：±0.05mm
最低空壓需求：0.6Mpa
箝制器作動方式：排氣箝制

特色/Feature

1.三軸線性馬達驅動

2.三軸光學尺

3.線性馬達空壓散熱
 

4.三軸移動件輕量化，高剛性設計